硅压力传感器常见问题分析

时间：2012-5-29 9:19:27 来源：盛恩传感器

硅压力传感器如今在我们生产中被广泛的运用，首先我们知道硅压力芯片的性能受温度的影响非常大，主要表现为零点和灵敏度随温度变化而发生漂移，产生漂移的根本原因在：在工艺制作中，组成惠斯登电桥的四个电阻条的表面掺杂浓度和扩散电阻条宽度不可能完全一致，致使四个电阻的阻值不完全相等，温度系数不相等，导致当输入压力为0时，电桥输出不为0，同时该输出随温度的变化而发生漂移，即零点温度漂移；半导体的温度特性导致压阻系数随温度变化，导致压力灵敏也随温度发生漂移；此外，后道工序的芯片与玻璃的静电封装、粘接、硅油及容腔设计等都会附加温度影响。综上因素，对封装后的压力传感器（不带温补芯体）的补偿包括零点偏移校准、零点温度漂移补偿和灵敏度温度补偿。对已经封装好的压阻式压力传感器的温度补偿一般是在其桥臂串并联电阻或者热敏电阻等方法来实现。而这些方法只能用于精度较低的场合。由于补偿电阻与压力传感器中惠斯登电桥的电阻系数不一致，测试也比较困难，所以无论哪种温度补偿方式都无法达到良好的效果，对于要求较高的应用领域（如医疗设备、气动控制等）这些补偿方法很难实现。因此，压力传感器的温度补偿一直是困扰用户的难题所在，也是压力传感器研究和生产的一个关键技术问题。
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