压阻式传感器的优、缺点

时间：2013-4-5 9:45:00 来源：盛恩传感器

1）压阻式传感器与其他类型传感器相比有很多优点，归纳起来有如下几点：
    ① 频率响应高。由于没有活动部件，其本身就是一个固定部件，因此固有频率很高，目前压阻式，传感器的固有频率达1.5MHz以上，这一特点对于系统的动态测量是十分重要的。
    ② 体积小，可微型化。由于采用了集成电路的工艺方法，因而硅膜片敏感元件可做得很小，这就是传感器结构微型化。传感器的外径一般可达0.8mm,最小可达0.25mm，这是其它类型传感器目前还达不到的。
    ③ 精度高。它没有转动机构造成的摩擦误差，也消除了一般压力传感器中金属膜片或应变计粘贴时因蠕变、迟滞产生的误差、所以大大提高了传感器的精度。目前，压阻式传感器精度应变在0.1%到0.5%之间，最高可达0.01%。
    ④ 灵敏度高。它比金属应变计的灵敏度高很多倍，有些场合可不加放大器。
    ⑤ 由于压阻式传感器无活动部件，所以台工作可靠、耐震、耐冲击、耐腐蚀、抗干扰性强，可工作在恶劣的环境条件中。
2) 压阻式传感器也存在如下一些不足之处：
    ① 由于压阻式传感器是用半导体材料制作的，受温度影响较大，因此在温度变化大的环境中使用时，必须进行温度补偿。
    ② 工艺比较复杂，对研制条件要求高而严格，尤其是烧结、封装工艺，因而其成本效高。
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