什么是固态压阻压力传感器

时间：2012-5-16 9:29:02 来源：盛恩传感器

在我们了解什么是固态压阻压力传感器之前首先得先明白什么是压阻效应？
半导体单晶硅材料在受到外力作用，产生肉眼根本察觉不到的极微小应变时，其原子结构内部的电子能级状态发生变化，从而导致其电阻率剧烈的变化，由其材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应叫压阻效应。
技术人们利用压阻效应原理，采用三维集成电路工艺技术及一些专用特殊工艺，在单晶硅片上的特定晶向，制成应变电阻构成的惠斯顿检测电桥，并同时利用硅的弹性力学特性，在同一硅片上进行特殊的机械加工，集应力敏感与力电转换检测于一体的这种力学量传感器，称为固态压阻压力传感器。
圧阻压力传感器具备. 灵敏度高、体积小、重量轻、动态频响高 、性能稳定、可靠性高、精度高、温度系数小、安全防爆、适应介质广等特点。广泛的应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。
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