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压阻式传感器的温度漂移

时间：2013-4-4 8:31:51 来源：盛恩传感器

    压阻式传感器受到温度影响后，就要产生零位温度漂移和灵敏温度漂移。这是压阻式传感器最大的弱点。
    零位温度漂移的产生是由于扩散电阻的阻碍随温度变化引起的，而扩散电阻的温度系数随薄层电阻的不同而异，表面杂质浓度高时，薄层电阻小，温度系数也小；表面杂质浓度低时，薄层电阻大，温度系数也大。为减少温度系数，可提供表面杂质浓度，但这样做会使传感器的灵敏度降低。
    压阻式传感器的灵敏度漂移是由于压阻系数随温度变化引起的。温度升高时，压阻系数变小，温度降低时，压阻系数变大，所以传感器的灵敏度，当温度升高时要降低，温度低时要升高，也就是说传感器的灵敏度温度系数是负的，如果扩散电阻的表面浓度高些，压阻系数随温度的变化要小些，传感器的灵敏度温度系数也要小些。
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